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CVD控制系统





  产品特点:
  一.管式电炉均采用高级耐火纤维材料,隔热性能优良、升温快、蓄热少、节能效果显著,且炉体周围无热感。
  二.自动化程度高。采用微电脑自动控温仪,可按不同要求编制升温曲线,做到自动升温、保温、降温与控制升温速率。具有P.I.D调节自整定、自学习功能,控温精度高。
  三.易磨损部位采用硬化技术处理,使炉材经久耐用。
  四.炉管两端装配不锈钢双环密封法兰,保障炉管的气密性。
  五.取放物料非常方便快捷,只需一支卡箍便可完成密封,简化了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。
  六.可以根据用户需要选择真空或气氛保护等试验环境。
  七.配置超温断电等多种逻辑保护功能,安全可靠。
  八.可以根据用户需求配置多温区控温,优化温度分布,确保最佳的温度均匀度或保障温度梯度。
  九.可根据客户需求升级配置计算机监控系统,实现100%仪表功能操作,并以曲线及数据表格形式记录存储实时温度曲线,历史温度曲线及报警记录参数。
  十.外形美观、高端、大气、上档次,色彩搭配时尚。
  十一.CVD系统兼容、常压、微正压多种主流的生长模式。
  十二.CVD系统可以在1000Pa-0.1Pa之间任意气压下进行石墨烯的生长。可以制备高质量,大面积石墨烯等碳材料,尺寸可达数厘米,研究动力学过程。
  十三.CVD系统使用计算机控制,可以设置多种生长参数。
  十四.CVD系统沉积效率高;薄膜的成分精确可控,配比范围大;厚度范围广,由几百埃至数毫米,可以实现厚膜沉积且能大量生产。

技术依据
1.GB 4836-84《电阻炉基本技术条件》
2.GB 4002-83《工业电热设备基本技术条件》
3.GB 10966.1-89《间接电阻炉》
4.JB 4311.1-10-87《电阻炉》
5.JB 3649.1-5-84《电阻炉用耐火制品》


详细参数请致电:18811388863 邵经理

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